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簡要描述:半導體保溫管道電加熱夾套:DIFF、ETCH、CVD、EPI部門,Pumping line和Pump exhaust管路需加裝加熱夾套。
產(chǎn)品型號: VC-DJR-150
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更新時間:2023-11-20
半導體保溫管道電加熱夾套的前因:
由于半導體生產(chǎn)常常需要使用各種化學氣體,這些氣體也會隨著工藝的過程,由真空泵從反應腔體抽出,形成各種有毒有害的工藝尾氣,這些氣體如直接排到大氣中就會形成大氣污染。所以半導體生產(chǎn)廠家都需要對工藝設備尾氣進行有效的處理,以減少對環(huán)境的污染。因此,在半導體制造機臺中,尾氣處理裝置是半導體加工中的BB工具。在等離子體干法刻蝕過程中,氣體供給口提供的氣體主要由Cl2、CF4、SF6、O2、He、BCl3等,經(jīng)過在真空反應室內(nèi)的一系列反應后,氣體排出口排出的尾氣主要包括TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2。由于上述尾氣極易在室溫下結晶,因此尾氣處理過程中結晶體會附著在排氣管的管壁上,極易對排氣管進行堵塞,同時造成排氣管的損傷。此過程會造成尾氣處理不CD,同時提高生產(chǎn)成本。
需要加熱馬甲的部門:
DIFF、ETCH、CVD、EPI部門,Pumping line和Pump exhaust管路需加裝加熱夾套。
加熱馬甲作用:
通過升高管路工作溫度,減少管內(nèi)介質(zhì)結晶,避免管路堵塞,減少PM周期,提高產(chǎn)能。
加熱馬甲溫度要求:
PVD:150°、170°(也有180°)
ETCH:80°-120°
半導體保溫管道電加熱夾套